Применяется в качестве технологической оснастки при получении Применяется в качестве технологической оснастки при получении Применяется в качестве технологической оснастки при получении Применяется в качестве технологической оснастки при полученииполупроводниковых сатериалов и веществ особой чистоты, не вступающихполупроводниковых сатериалов и веществ особой чистоты, не вступающихполупроводниковых сатериалов и веществ особой чистоты, не вступающихполупроводниковых сатериалов и веществ особой чистоты, не вступающихв химическое взаимодействие с углеродом.в химическое взаимодействие с углеродом.в химическое взаимодействие с углеродом.в химическое взаимодействие с углеродом.