|
Структуры гетероэпитаксиальные кремния на сапфире (структурыКНС), они состоят из гетероэпитаксиального слоя ГЭС кремния, логированного фосфором, ориентации 100 к монокристаллическойподложки сапфира ориентации 1012 и предназначены для изготовленияинтегральных схем на комплементарных МОП-транзисторных. Пример записипри заказе: структура КНС-0.6-0-76-А ЕТО.035.659 ТУ где: 0.6 (или0.3) -номинальная толщина, ГЭС кремния, мкм: о или I диапазон поудельному электрическому сопротивленю 76 (или 100) диаметр КНС, мм: А или Б класс структур КНС. |
|