Настоящие технические условия распространяются на

нанотехнологический комплекс (НТК) с расширенными аналитическими

возможностями, включающий системы локального выращивания наноструктур

и наноимплантации, предназначенный для проведения исследований

образцов материалов диаметром до 100 мм, допускающих их размещение в

условиях сверхвысокого вакуума (до 1.2 *10-8 Па). Наличие свободных

фланцев в камерах позволяет устанавливать дополнительные

вспомогательные устройства и оборудование, предназначенное для работы

в условиях сверхвысокого и высокого вакуума, и тем самым расширить

функциональные возможности комплекса. Область применения -

разработка и мелкосерийное производство изделий микро-, опто-,

наноэлектроники, нанотехнологии, микромеханики, создание

наноструктурных материалов, запоминающих сред, химия и химическая

технология, металлургия, для научных и промышленных исследовательских

лабораторий, и т.п.Комплекс предназначен для использования в условиях

промышленных, учебных и научно-исследовательских учреждений.